LSIプリント板の微小部品の解析
機種構成例と熱画像例
要求事項・対象の特性
- 分解能10μm以下の微小対象物
- または高速現象
ソリューションのポイント
- 顕微鏡レンズ
- フレームレート（120フレーム/秒）
- 赤外画像と可視画像のコンピュータ記録
活用例
- 空間分解能５μｍ
- 微小部品の解析に最適。
機器構成例
- ※同等機種を含みます。
- TVS-8502
- 顕微鏡レンズまたは近接拡大レンズ
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